通用气体分析仪

UGA 系列——腐蚀性气体的理想选择

UGA-氢气系列（UGA w/opt. 3）——适用于高浓度 H 2

ULT 系列——低成本解决方案（起价 28,000 美元）

UGA 和 U LT系列通用气体分析仪是*先进的台式质谱仪，可在大气压以上至 UHV 范围内运行。它们是气体混合物在线监测和分析的理想选择。无论您是测量痕量污染物、溶剂、碳氢化合物、制冷剂还是腐蚀性气体，您的通用气体分析仪都能胜任这项任务。

UGA 应用包括半导体废气监测、手套箱分析、燃料电池研究、氟利昂检测、污染监测、发酵研究和一般研发真空分析。

这些分析仪也易于操作和维护。机箱设计允许仪器垂直或水平操作，同时支持前面板和计算机操作。U LT系列是针对要求不高的应用的简化设计。

工作原理

特高压应用

UGA 系统使用两级减压入口进入大气压下的样气。在压力降低到大约10 -6  Torr之后，气流被送到质谱仪（残余气体分析仪——RGA），该质谱仪测量每个感兴趣的质量的浓度。

UGA Windows 软件为复杂的绘图和数据分析提供了一个图形用户界面。该软件还允许远程控制系统的阀门、加热器和泵。

对于10 -1到10 -4  Torr范围内的气体采样，使用真空入口组件。只需将 2 ¾” CF 至 ¼” 管适配器连接到 CF 端口之一，然后根据入口压力调整管的长度。

为 UHV 应用(<10 -4  Torr)提供了对 RGA 的直接访问。真空入口组件的任何 2 ¾” CF 端口均可用于连接到您的真空室。

多毛细管进样口（仅* UGA 系列）

直接连接

可选的多端口采样入口由 16 个安装在歧管上的阀组成，可与各种毛细管一起使用。

加热室（仅* UGA 系列）

UGA 系统配备了用于真空室（包括 RGA）、涡轮泵连接器和真空入口组件的单独加热器。在烘烤期间，系统可以加热到 120 °C。

双隔膜泵（仅* UGA 系列）

单独的隔膜泵用于处理涡轮泵的旁通流量和回流。这种架构允许在不损坏 RGA 和涡轮泵的情况下分析腐蚀性气体（氯、氟等），并且几乎消除了回流问题。测量高浓度的低质量气体（氢气、氦气等）不再是问题。

涡轮泵排气（UGA 和 U LT）

涡轮泵排气口的可选阀门和入口可供希望用干燥氮气（或其他惰性气体）排气的用户使用。这使泵免受空气中存在的水和其他污染物的影响。

软件系统控制

使用你的 UGA

UGA 系统可以通过前面板或计算机进行控制。提供所有系统组件的手动或自动控制选择。

使用 UGA 软件测量和显示数据。直观的用户界面允许快速轻松地进行测量。实时捕获和显示数据，或计划在指定时间采集数据。

功能包括模拟和直方图扫描模式、压力与时间图、泄漏检测、气体库和在线帮助。

RGA 参数也可以通过上等 ASCII 命令集进行控制和监视。标准 RS-232和以太网接口用作您 PC 的数据链路。

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