UGAPM 系列过程监控系统
UGAPM 系列过程监测系统是为分析过程气体而设计的现代质谱仪。它们的工作范围为 20 Torr 到 1 mTorr。入口以低流速(约5x10 -5 mbar L/sec)连续采样气体,使仪器成为在线分析的理想选择。
UGAPM 应用包括 CVD/PECVD/RIE/LPCVD/MOCVD、真空镀膜/等离子蚀刻、蒸发、溅射沉积、真空热处理、靶材老化、泄漏检测/虚拟泄漏/解吸、污染研究、小体积分析(0.1 mL范围)等。
这些分析仪也易于操作和维护。所有组件都可以从前面板或远程计算机进行控制。在 UGAPM 系统中,使用 1/16” 或 1/8” OD 的 SS 毛细管来适应中真空采样。使用这种配置,处理室和分析仪之间的死体积几乎为零。
工作原理
UGAPM 系统使用单级毛细管减压入口,用于 1 mTorr 至 20 Torr 的样气。在压力降低到大约10 -6 Torr之后,气流被送到质谱仪(残余气体分析仪——RGA),该质谱仪测量每个感兴趣的质量的浓度。
UGAPM Windows 软件为复杂的绘图和数据分析提供了一个图形用户界面。该软件还允许远程控制系统的阀门、加热器和泵。
多毛细管入口
可选的多入口阀具有两种可能的配置。一种是多通道配置,可适用于不同位置的一种特定样品压力。另一种是多量程配置,可适用于不同量程的样品压力。
使用您的 UGAPM
UGAPM 系统可以通过前面板或计算机进行控制。提供所有系统组件的手动或自动控制选择。
使用 UGAPM 软件测量和显示数据。直观的用户界面允许快速轻松地进行测量。实时捕获和显示数据,或计划在指定时间采集数据。
功能包括模拟和直方图扫描模式、压力与时间图、泄漏检测、气体库和在线帮助。
RGA 参数也可以通过上等 ASCII 命令等进行控制和监视。标准 RS-232和以太网接口用作您 PC 的数据链路。
*超值
UGAPM 分析仪提供目前可用的任何系统的*佳价值。它们提供更高的性能、更好的功能,并且价格远低于竞争对手。
UGAPM 规格 进口 类型 不锈钢毛细管,两个额外的2-3/4" CF 端口 流量 在应用压力下为10 -4至10 -5 Torr-L/sec 压力 可选择1 X 10 -3 mbar至 15 mbar 质谱仪 类型 四极杆 (RGA) 探测器 法拉第杯和电子倍增器 范围 100、200 或 300 原子质量单位 (amu) 解析度 在 10 % 峰高处优于 0.5 amu 检测限 <10 ppm 使用法拉第杯检测器,<1 ppm 使用电子倍增器 运营压力 FC 为10 -4 mbar ,CDEM为10 -6 mbar 连接 进样口 1/16" 或 1/8" 世伟洛克接头 排气 1/4" Tygon 管适配器 计算机 以太网或 RS-232C,DB9 连接器 力量 3针接地线 UGA软件 软件 Windows 应用程序。控制 UGAPM 系统,包括 RGA。 系统 泵 混合涡轮分子/阻力泵,81 升/秒。极限压力2 x 10 -9 mbar。极限压力小于 7 mbar 的隔膜泵。防护等级 IP44 材料 建造 SS304 和 SS316 绝缘子 氧化铝、陶瓷 密封件 Viton ®、丁腈橡胶和丁腈橡胶、铜垫片 各种各样的 铝,Tygon ® 一般的 启动时间 距句号 8 分钟 *大限度。环境温度。 35°C 电力需求 <600 W,110 V / 60 Hz或220 V / 50 Hz(不可现场选择) 方面 12" × 11" × 27" (WHL) 重量 75 磅 了解产品更多详情,请联系我们,深圳市奥德赛创精密仪器有限公司将会提供价格优惠质量保障,让您满意的产品,谢谢!
UGAPM 规格
进口
质谱仪
连接
UGA软件
系统
材料
一般的
深圳市奥德赛创精密仪器有限公司 联系人:牛八先生 手 机:13798428887
地 址:深圳市宝安区沙井镇南环路华丰高新产业园11号电梯4楼
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