残余气体分析仪

CIS 系列封闭式离子源分析仪

凭借优于 1 ppm 的检测限、在 mTorr 压力下直接采样以及用户友好的 Windows 软件包，CIS 系统将满足您*苛刻的应用。在线过程监测和控制、在使用点验证过程气体纯度、高真空残余气体分析和过程设备泄漏检查是这些系统必不可少的一些领域。

紧凑型设计

镀金离子发生器

该探头由一个四极质谱仪和一个安装在 2.75" Conflat ®  Tee 内的 CIS 离子发生器组成。控制单元直接安装在探头的馈通法兰上，并包含操作仪器所需的所有电子设备。CIS 接头的侧面端口提供用于将四极杆、灯丝和检测器保持在高真空状态的差动泵系统连接。该系统可以通过其标准 CIS 安装法兰 (2.75" CF) 直接连接到工艺室。该装置是自对准的，具有简单、坚固的设计。您可以清洁和重新组装探头，并在现场更换灯丝和电子倍增器，而无需致电工厂。

镀金离子发生器

整个离子发生器由镀金不锈钢制成。这减少了电离区域中的除气和背景信号，提高了长期稳定性，并允许在暴露于反应性和腐蚀性气体时进行操作。使用钨丝，可抵抗 WF 6和硅烷等腐蚀性和反应性气体，并延长使用寿命。电离器的封闭（气密）设计可防止常见的干扰物质回流到电离体积中。这会产生没有光谱重叠的峰。

探测器的选择

CIS 系列分析仪标配法拉第杯检测器（10 ppm 检测）和连续打拿极电子倍增器（1 ppm 检测）。该软件允许您在检测器之间轻松切换。

电子倍增器

多功能性

CIS 系统也可以用于所谓的“RGA 模式”。在这种模式下，装置具有较低的*小可检测分压，但也具有较低的*大工作压力。例如，RGA 模式用于溅射工艺的**阶段，此时腔室被抽空至低压，并检查真空质量是否存在泄漏和有害污染物。然后可以将装置切换到 CIS 模式，以便在较高压力下直接采样。

完全可编程性

提供标准 RS-232 接口以及完整的编程参考。可以控制和监控所有探头参数，并且可以获取数据以用于自定义应用程序。

视窗软件

模拟模式

CIS 系统由在 PC 上运行的实时 Windows 软件包提供支持。直观的图形用户界面允许快速轻松地进行测量。该程序是完全交互式的，使用户可以完全控制图形显示。可拆分屏幕进行双模式操作，刻度可设置为线性或对数格式，数据可手动或自动缩放。实时捕获和显示数据，或按给定时间间隔计划采集数据，以进行长期数据记录。功能包括用户可选择的单位（ppm、Torr、mbar、Pa 和 A）、可编程的音频和视频警报以及全*的在线帮助。该软件允许通过简单的质量标度调整、灵敏度校准、离子发生器设置和电子倍增器增益调整实现完整的 CIS 磁头控制。为了进一步分析，数据文件可以以 ASCII 格式保存，以便于传输到电子表格中。图形图像可以保存为 META 文件或复制到剪贴板以导入其他 Windows 程序。该软件还为锁定头部参数提供密码保护，使临时用户无法更改重要设置。

可选的独立监视器 ( PPM100 ) 可用于在没有主机的情况下控制 RGA。

压力与时间

多头操作

当需要多个 CIS 时，该软件支持多头操作。该软件*多可监控 8 个 ECU。

泵送要求

CIS 仪器需要连接到有效抽速至少为 40 L/s 且基础压力低于10 -9  Torr的抽吸系统。连接端口是一个 2.75" Conflat ® 法兰。选项 O100TDP 提供一个涡轮泵，它与隔膜低真空泵一起直接安装到 CIS 泵头上。订购此选项时，整个分析仪都在工厂组装、测试和校准。用户可以提供自己的泵站；但是，用户有责任确保泵系统不会损坏或限制仪器的性能。

经济实惠的性能

图书馆模式

SRS CIS 系统以竞争模型的一小部分成本提供*先进的性能。标准系统包括法拉第杯探测器、电子倍增器探测器和 Windows 软件。选项包括用于交流线路操作的内置电源模块，以及包括涡轮分子泵和隔膜泵的泵送套件。

独联体尺寸图

笔记

1. CIS 测试使用 70 L/s 混合涡轮分子泵进行，由隔膜泵支持，连接到 CIS Cover Tee 的侧端口。2. 报告的 RGA 模式灵敏度是针对低于 10 -5  Torr的 N 2
计算得出的。 3. CIS 模式灵敏度是针对 N 2在 1 至 5 × 10 -4  Torr 下计算的。4. MDPP（*小可检测分压）通过在 10 -5（RGA 模式）和 10 -3存在28 N 2 的情况下测量法拉第杯检测的基线水平来确定

 托（CIS 模式）。当电子倍增器打开时，可检测性可提高多达 3 个数量级。